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      半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化突圍戰(zhàn):百億美元市場(chǎng)的“破壁者”

      更新時(shí)間:2025-07-25      點(diǎn)擊次數(shù):98

      半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化突圍戰(zhàn):百億美元市場(chǎng)的“破壁者"

      ——從零部件到整機(jī),國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備的崛起之路

      一、半導(dǎo)體設(shè)備:芯片制造的基石",國產(chǎn)化率不足20%

      半導(dǎo)體設(shè)備是芯片制造的“母機(jī)",直接決定芯片性能與產(chǎn)能。2022年全球半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模達(dá)1076億美元,中國大陸以283億美元成為頭部市場(chǎng),但國產(chǎn)化率僅約15%-20%。

      核心設(shè)備國產(chǎn)化率分布

      光刻機(jī):<1%

      量測(cè)設(shè)備:<5%

      離子注入設(shè)備:<10%

      薄膜沉積設(shè)備:<20%

      刻蝕設(shè)備:>30%

      清洗設(shè)備:>30%

      半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化突圍戰(zhàn):百億美元市場(chǎng)的“破壁者

      二、零部件:半導(dǎo)體設(shè)備的卡脖子"環(huán)節(jié)

      半導(dǎo)體設(shè)備中90%成本來自零部件,但頭部零部件國產(chǎn)化率普遍低于10%

      真空閥門

      日本SMC、瑞士VAT壟斷,國產(chǎn)化率<1%

      射頻電源

      美國MKS、AE壟斷全球87%份額

      靜電吸盤

      日本京瓷、美國AMAT壟斷,國產(chǎn)化率<1%

      國產(chǎn)突破:

      江豐電子

      靶材國產(chǎn)化率超50%,打入臺(tái)積電5nm供應(yīng)鏈

      英杰電氣

      射頻電源獲中微公司認(rèn)證,2023年訂單超9000萬元

      新萊應(yīng)材

      高純氣體管路系統(tǒng)進(jìn)入長江存儲(chǔ)供應(yīng)鏈

      半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化突圍戰(zhàn):百億美元市場(chǎng)的“破壁者

      三、薄膜沉積設(shè)備:CVD/PVD國產(chǎn)化加速

      薄膜沉積設(shè)備占晶圓廠設(shè)備投資的25%,2022年全球市場(chǎng)規(guī)模172億美元:

      技術(shù)路線

      PECVD(等離子體增強(qiáng)):占比34%

      ALD(原子層沉積):先進(jìn)制程核心

      國產(chǎn)進(jìn)展拓荊科技

      PECVD設(shè)備打入中芯國際14nm產(chǎn)線,2022年?duì)I收17億元

      北方華創(chuàng)

      PVD設(shè)備在長江存儲(chǔ)份額超20%

      中微公司

      MOCVD設(shè)備全球市占率超60%

      半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化突圍戰(zhàn):百億美元市場(chǎng)的“破壁者

      四、量檢測(cè)設(shè)備:芯片良率的守護(hù)者"

      量檢測(cè)設(shè)備占設(shè)備投資的11%,2022年全球市場(chǎng)規(guī)模104億美元:

      /暗場(chǎng)檢測(cè)

      明場(chǎng)檢測(cè):用于圖形晶圓,精度要求高

      暗場(chǎng)檢測(cè):用于無圖形晶圓,速度快

      國產(chǎn)突破中科飛測(cè)

      無圖形檢測(cè)設(shè)備國內(nèi)市占率超70%

      上海精測(cè)

      明場(chǎng)檢測(cè)設(shè)備獲長江存儲(chǔ)訂單

      睿勵(lì)儀器

      膜厚量測(cè)設(shè)備進(jìn)入中芯國際產(chǎn)線

      半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化突圍戰(zhàn):百億美元市場(chǎng)的“破壁者

      五、CMP設(shè)備:晶圓平坦化的精密磨床"

      CMP設(shè)備占設(shè)備投資的4%,2022年全球市場(chǎng)規(guī)模18億美元:

      技術(shù)壁壘

      納米級(jí)平整度控制(相當(dāng)于天安門廣場(chǎng)起伏<0.03mm

      國產(chǎn)突破華海清科

      12英寸CMP設(shè)備市占率25%,2022年?duì)I收16億元

      爍科中科信

      8英寸CMP設(shè)備進(jìn)入華虹供應(yīng)鏈

      半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化突圍戰(zhàn):百億美元市場(chǎng)的“破壁者

      六、離子注入機(jī):芯片摻雜的精準(zhǔn)注射器"

      離子注入機(jī)占設(shè)備投資的3%2022年全球市場(chǎng)規(guī)模18億美元:

      技術(shù)分類

      中低束流:占比60%

      高能離子:占比18%

      國產(chǎn)突破萬業(yè)企業(yè)(凱世通)

      低能大束流設(shè)備獲長鑫存儲(chǔ)訂單

      中科信

      中束流設(shè)備進(jìn)入中芯國際產(chǎn)線

      半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化突圍戰(zhàn):百億美元市場(chǎng)的“破壁者

      七、國產(chǎn)設(shè)備廠商:從“01"的突圍者

      1. 平臺(tái)型龍頭

      北方華創(chuàng)

      覆蓋刻蝕、PVD、CVD7大類設(shè)備,2022年半導(dǎo)體設(shè)備收入130億元

      中微公司

      CCP刻蝕設(shè)備打入臺(tái)積電5nm產(chǎn)線

      2. 細(xì)分賽道

      拓荊科技

      PECVD設(shè)備國內(nèi)市占率32%

      華海清科

      CMP設(shè)備國內(nèi)市占率25%

      盛美上海

      清洗設(shè)備國內(nèi)市占率23%

      半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化突圍戰(zhàn):百億美元市場(chǎng)的“破壁者

      八、未來展望:國產(chǎn)化的三大突破口

      成熟制程

      55-28nm產(chǎn)線國產(chǎn)設(shè)備覆蓋率已達(dá)50%

      先進(jìn)封裝

      華為芯片堆疊"推動(dòng)封裝設(shè)備需求

      零部件配套

      射頻電源、真空閥門等加速替代

      半導(dǎo)體設(shè)備的國產(chǎn)化不是選擇題,而是生存題。"

      ——中微公司董事長尹志堯


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